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[X射线荧光膜厚仪,膜厚仪]深圳市美程精密电子有限公司

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[X射线荧光膜厚仪,膜厚仪]深圳市美程精密电子有限公司

X射线荧光膜厚仪产品介绍

X射线荧光膜厚仪技术指标:

1.1 分析元素范围:Cl(17)-U(92)

1.2 同时可分析多达5层镀层以上

1.3 分析厚度检出限0.01μm

1.4 多次测量重复性可达0.01μm

1.5测量时间:5s-300s

1.6 计数率:0-8000cps

X射线荧光膜厚仪工作环境要求:

2.1 环境温度要求:15℃-30℃

2.2 环境相对湿度:<70%

2.3 工作电源:交流220±5V

2.4 周围不能有强电磁干扰。

X-ray膜厚仪配置清单

名 称

参 数

数 量

单 位

1.硬件配置

正比接收器

/

1

pcs

W靶X射线发生器

/

1

pcs

光学准直器

φ0.05mm

φ0.1mm

φ0.2mm

φ0.5mm

可任选其中一种

1

pcs

可变焦镜头

/

1

pcs

主控板

/

1

pcs

信号放大器

/

1

pcs

分配板

/

1

pcs

高精密XY移动平台

/

1

pcs

高清工业摄像头

/

1

pcs

X射线高压板

/

1

pcs

高低压电源

/

1

pcs

2.软件配置

EFP-T镀层分析软件

/

1

3.计算机配置

内存

4G

1

硬盘

160G

显示器

19'LCD Montor

4.喷墨打印机

彩色喷墨打印机

/

1

5.附件

软件密码狗

/

1

pcs

网线、USB线、电源线

/

3

pcs

高压钥匙

/

2

pcs

样品测试膜

/

1

Ni/Fe(5μm)标准片

/

1

pcs

Au/Ni/Cu(0.1μm/2μm)标准片

/

1

pcs

U盘(数据备份)

/

1

pcs

十二纯元素标准片

/

1

pcs

XTU-AX-ray膜厚仪采用EFP无标样测试法,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析。? 0.05 mm ;? 0.1 mm;? 0.2 mm;? 0.5 mm;准直器任意选择一种。测试面积约? 0.06 mm;具有距离补偿功能,可改变测量距离,能测量凹凸异型样品,变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm);

X-ray膜厚仪XTU-A技术参数:

测量元素范围:Cl(17)-U(92)

涂镀层分析范围: 各种元素及有机物 EFP,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析,

探测器/接收器:日本东芝正比计数管,窗口面积≥150mm2

X射线装置:升压发射一体高分子聚合式W靶微聚焦加强型射线管

射线准直系统:垂直光路交换装置搭配黄金准直器 垂直光路交换装置搭配100mm变焦镜头

样品观察功能:1/2.5彩色CCD,全局快门,有效像素:1280*960.变焦功能

对焦方式:高敏感镜头(无需增加其它辅助传感器),手动对焦

仪器尺寸:外部尺寸540mm*430mm*475mm

样品可放置区域:480mm*320mm*205mm(C型开槽设计,特殊测试时可以超出区域放置样品)

样品移动方式;高精密XY手动滑轨 可移动范围 40mm*50mm

电气参数:电源:交流220V 50Hz 功耗:120W(不包括计算机)

环境要求:使用时温度:10°C-40°C 存储和运输时温度:0°C-50°C 空气相对湿度:≤80%

重量:45Kg

随机标准片:十二元素片、Ni/Fe 、Au/Ni/Cu

其它附件:联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱

性能优势:

下照式设计:可以快速方便地定位对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测,凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置:可检测面积小于0.002mm2的样品,可测试各微小的部件。

高效率的接收器:即使测试0.01mm2以下的样品,几秒钟也能达到稳定性。

EFP先进算法软件:多层多元素,甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。

仪器规格:

外形尺寸 :550 mm x 480mm x 470 mm (长x宽x高)

样品仓尺寸 :500mm×360 mm ×215mm (长x宽x高)

仪器重量 :55kg

供电电源 :交流220±5V

功率 :330W

环境温度:15℃-30℃

环境相对湿度:<70%

技术参数:

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