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X射线荧光膜厚仪产品介绍
X射线荧光膜厚仪技术指标:
1.1 分析元素范围:Cl(17)-U(92)
1.2 同时可分析多达5层镀层以上
1.3 分析厚度检出限0.01μm
1.4 多次测量重复性可达0.01μm
1.5测量时间:5s-300s
1.6 计数率:0-8000cps
X射线荧光膜厚仪工作环境要求:
2.1 环境温度要求:15℃-30℃
2.2 环境相对湿度:<70%
2.3 工作电源:交流220±5V
2.4 周围不能有强电磁干扰。
X-ray膜厚仪配置清单
名 称
参 数
数 量
单 位
1.硬件配置
正比接收器
/
1
pcs
W靶X射线发生器
/
1
pcs
光学准直器
φ0.05mm
φ0.1mm
φ0.2mm
φ0.5mm
可任选其中一种
1
pcs
可变焦镜头
/
1
pcs
主控板
/
1
pcs
信号放大器
/
1
pcs
分配板
/
1
pcs
高精密XY移动平台
/
1
pcs
高清工业摄像头
/
1
pcs
X射线高压板
/
1
pcs
高低压电源
/
1
pcs
2.软件配置
EFP-T镀层分析软件
/
1
套
3.计算机配置
内存
4G
1
套
硬盘
160G
显示器
19'LCD Montor
4.喷墨打印机
彩色喷墨打印机
/
1
台
5.附件
软件密码狗
/
1
pcs
网线、USB线、电源线
/
3
pcs
高压钥匙
/
2
pcs
样品测试膜
/
1
卷
Ni/Fe(5μm)标准片
/
1
pcs
Au/Ni/Cu(0.1μm/2μm)标准片
/
1
pcs
U盘(数据备份)
/
1
pcs
十二纯元素标准片
/
1
pcs
XTU-AX-ray膜厚仪采用EFP无标样测试法,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析。? 0.05 mm ;? 0.1 mm;? 0.2 mm;? 0.5 mm;准直器任意选择一种。测试面积约? 0.06 mm;具有距离补偿功能,可改变测量距离,能测量凹凸异型样品,变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm);
X-ray膜厚仪XTU-A技术参数:
测量元素范围:Cl(17)-U(92)
涂镀层分析范围: 各种元素及有机物 EFP,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析,
探测器/接收器:日本东芝正比计数管,窗口面积≥150mm2
X射线装置:升压发射一体高分子聚合式W靶微聚焦加强型射线管
射线准直系统:垂直光路交换装置搭配黄金准直器 垂直光路交换装置搭配100mm变焦镜头
样品观察功能:1/2.5彩色CCD,全局快门,有效像素:1280*960.变焦功能
对焦方式:高敏感镜头(无需增加其它辅助传感器),手动对焦
仪器尺寸:外部尺寸540mm*430mm*475mm
样品可放置区域:480mm*320mm*205mm(C型开槽设计,特殊测试时可以超出区域放置样品)
样品移动方式;高精密XY手动滑轨 可移动范围 40mm*50mm
电气参数:电源:交流220V 50Hz 功耗:120W(不包括计算机)
环境要求:使用时温度:10°C-40°C 存储和运输时温度:0°C-50°C 空气相对湿度:≤80%
重量:45Kg
随机标准片:十二元素片、Ni/Fe 、Au/Ni/Cu
其它附件:联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱
性能优势:
下照式设计:可以快速方便地定位对焦样品。
无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测,凹槽深度范围0-90mm。
微聚焦射线装置:可检测面积小于0.002mm2的样品,可测试各微小的部件。
高效率的接收器:即使测试0.01mm2以下的样品,几秒钟也能达到稳定性。
EFP先进算法软件:多层多元素,甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。
仪器规格:
外形尺寸 :550 mm x 480mm x 470 mm (长x宽x高)
样品仓尺寸 :500mm×360 mm ×215mm (长x宽x高)
仪器重量 :55kg
供电电源 :交流220±5V
功率 :330W
环境温度:15℃-30℃
环境相对湿度:<70%
技术参数:
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